3D形貌儀利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成，它可以達到納米級的檢測精度，并可快速獲取被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進行檢測，其主要用途是用于成品的質(zhì)量管理，確保良品合格率?？蓮V泛用于各類精密工件表面質(zhì)量要求高的如：半導(dǎo)體、微機電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域?？梢哉f只要是微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量，除了3D形貌儀，沒有其它的儀器設(shè)備可以達到其精度要求。

　　成像散光問題一直影響3D形貌儀測量準(zhǔn)確度的因素之一，這種現(xiàn)象如何進行處理呢？

　　實際操作中啟動開關(guān)電源后，如果大屏幕上沒有聚焦，分辨率較低，我們稱之為“散光問題”。此時，無論如何更新物鏡，或者改變測量角度，大屏幕上的畫面還是一樣的。一開始這種情況，很多人都不明白，以為鏡頭上有污垢造成的。

　　對于以上問題先確認(rèn)一下是否是形貌儀的散光問題導(dǎo)致的。如果確定是散光故障則很有可能是LED不聚光方式引起的，更換LED后重啟工作電源可以查看相關(guān)問題還是否存在，一般情況都差不多是這個原因。

　　其次拆開鏡框，看看玻璃鏡面是否平整。如果是均勻的，不會造成散光，但是不均勻會導(dǎo)致散光。

　　通過上述兩種方法，一般可解決好儀器的散光問題。